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Cu
Cu
時間:2021.08.25
來源 :
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材料
符號(原子序數)
熔點(℃)
密度(g/cm3)
Z-Ratio
飽和蒸氣壓(℃)
建議蒸發源*
建議坩堝*
注意事項
E-8Torr
E-6 Torr
E-4Torr
銅
Cu(29)
1084
8.96
0.437
727
857
1017
E38MT/E63MT/E38HT
Al
2
O
3
/Mo/Ta
-
標簽:
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Ta
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Al
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