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材料沉積表

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Cu

時間:2021.08.25來源 :點擊次數:1971次
材料 符號(原子序數)
熔點(℃)
密度(g/cm3)
Z-Ratio
飽和蒸氣壓(℃)
建議蒸發源*
建議坩堝*
注意事項
E-8Torr
E-6 Torr
E-4Torr
Cu(29)
1084 8.96 0.437 727 857
1017
E38MT/E63MT/E38HT Al2O3/Mo/Ta
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